ALDER
ALDER-800TBS
ALDER-800TBS (A800TBS) 是一種熱模式 ALD 系統(tǒng)，具有大容量負載鎖定機制，可實現高通量、高均勻性和出色的重現性。
- 特征
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專為 LED 等高通量 ALD 應用而設計
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以良好的再現性實現高度均勻的沉積工藝
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6 秒以下的快速 ALD 循環(huán)
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維護周期長
